1、采购标的需实现的功能或者目标

穆勒矩阵椭偏仪可通过穆勒矩阵、椭偏参数、透射/反射率等参数的测量，实现各种光学薄膜和纳米结构的几何形貌参数和光学特性参数的表征分析，特别适用于各向异性薄膜材料的测量表征、材料新特性和新物理现象的描述分析。

软件具有多类薄膜和纳米结构建模功能，可实现周期性纳米光栅建模仿真测试，具备常见材料光学常数数据库、常用振子模型（柯西模型、洛伦兹模型、高斯模型等），支持多组分薄膜与体材料光学常数、折射率梯度分布、等效介质模型，支持图形化多振子混合模型拟合功能，支持用户自定义光学材料库。

2、执行标准和规范

GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

    实用新型专利: 一种光谱椭偏装置【L202223363532.0】

    发明专利:一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制【ZL201911369716.8】

发明专利: 一种基于椭偏仪待测样件参数测量方法【ZL202011233872.4】

3、需满足的质量、安全、技术规格、物理特性

质量把控： 供应商应严格按照行业SOP标准，对原材料进行严格的质量管控，严格执行设备出厂流程，做好设备性能指标以及运行可靠性的保障。

安全注意事项：1）仪器出现异常时，请根据计算机上的错误显示窗口中显示的错误信息，尝试将仪器恢复到正常工作状态。如果仪器无法恢复正常，请与本公司客服联系； 2) 在仪器出现异味、异样的声音、冒烟等异常情况时，请迅速切断电源，使仪器停止运行；3) 在长期不使用仪器的情况下，请切断仪器总电源。此外，在长期停止工作后再次启动仪器时，请在例行检查之后，再接通仪器的电源。

技术规格：

物理特性：供电电源电压：220V AC；正常频率范围：49~51Hz；相电流：有效值小于 4A（220V AC）；功率：小于880 W。

4、采购数量、时间、地点

1台；2024年6月；辽宁材料实验室

5、需满足的服务标准、期限、效率等要求

设备质量保证期为验收之日起12个月，在接到用户故障信息后要求4小时内响应，1个工作日排除故障，48小时内安排工程师上门；保修期内，供货方向采购方免费提供及时的维修服务和维修所必须的零配件；设备保修期过后，要求能终身提供广泛优惠的技术支持。

6、验收标准

按照设备技术协议规定的性能参数验收：

1. ▲偏振测量参数：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，16组Muller Matrix

2. 光谱范围：380-1000nm

3. 调制技术：双旋补偿器PCr1SCr2A调制技术

4. 测量时间：＜15秒，全流程时间

5. ▲微光斑尺寸：200μm（短轴），配置双安全自动识别传感器

6. 测量角度：45-90°，自动变角

7. 找焦功能：0-20mm，自动找焦

8. 可视化调平系统：支持样件台可视化辅助对准调平

9. ★膜厚重复精度：优于0.005nm（100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

10. ★折射率重复精度：优于0.0002（n @632.8nm，100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

11. ★绝对精度：穆勒矩阵非对角元素优于m=0±0.005（测量空气， 90%满足）

12. ★退偏精度优于：±0.5%（测量裸硅，全波段90%满足）

13. ▲退偏态修正：修正半峰宽Bandwidth，厚度不均匀Non-uniformity及非零级光散射Angular等退偏态

14. 样品台：具备X/Y/Z/Rz、俯仰五维可调，支持Ф200mm样件真空吸附固定测量

15. ▲数据建模：多种数据拟合度（MSE/GOF/nGOF）评价方式；软件同界面数据文件夹结构化批量管理，一次调用海量数据数秒内批量处理并导出分析报告

16. ▲光栅测量：测量一维/二维周期纳米光栅得到结构尺寸值信息，包含光栅顶宽TopCD、底宽BottomCD、倾斜角Offset、套刻误差Overlay、顶弧Topfillet、底弧Bottomfillet等信息；

17. 分析软件：Recipe测量模式（Repice编辑保存及一键调用），多达数百种的光学材料常数数据库，用户自定义光学材料库；具备折射率梯度分布Grade建模，光学各向异性建模仿真与分析功能，至少5个授权软件许可

18. 分析电脑：CPU: ≥双核处理器，RAM: ≥8G，ROM: ≥1024G，显示器: ≥19寸，windows系统

7、其他技术、服务等要求

7.1、技术资料

供应商保证提供完整的技术资料，包括设备使用手册、数据分析手册、出厂报告、产品合格证等资料，符合合同约定并且能够满足设备的安装、调试、验收、操作以及维修和保养的需要。

2、设备安装、调试和验收

2.1当货物到达采购人指定的交货地点后，采购人及成交供应商依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、型号、外观等进行逐项检查。如采购人发现所提供设备不符合合同要求时，或有损坏，采购人有权向供应商提出退换和索赔；

2.2 如设备安装有特殊要求，供应商应在合同签订后一周内以书面形式向采购人提出安装场地要求，并对采购人就安装场地的咨询提供技术支持；

2.3 在设备到达采购人场地后，供应商应尽快组织完成整套设备的安装、调试；安装、调试完毕并通过采购人最终验收后，供应商可向采购人提出验收申请，由采购人组织有关人员进行验收。

2.4 采购人及成交供应商签署验收文件，根据验收文件对设备进行验收。

3、技术培训

3.1 在采购人所在地由供应商专业工程师免费对采购人进行软硬件操作技术培训，内容包括设备的技术原理、操作、数据处理和基本维护等，直至采购人能独立操作为止。

3.2 采购人独立使用后三个月，按采购人要求由工程师进行集中问题解答；采购人独立使用后半年至一年，由应用专家进行深入培训和优化操作。

3.3 培训费用：所发生的培训费用由供应商承担。