广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目设计施工总承包(第二次)招标公告
投资项目代码
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投资项目名称
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目
招标项目名称
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目设计施工总承包(第二次)
标段(包)名称
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目设计施工总承包(第二次)
公告性质
正常
资格审查方式
资格后审
招标项目实施(交货)地点
广州市大学城广东工业大学校区理学馆
资金来源
国有或集体投资
资金来源构成
国有或集体投资.%
招标范围及规模
在大学城校区理学楼一层建设半导体微纳加工研发及服务平台实验室,实验室洁净等级百级~千级,总体改造面积约为平方米,其中洁净区域约平方米,配套设施用地约平方米。平台预期将具备基于英寸晶圆的硅工艺全流程制造能力,可制备各种自定义的半导体薄膜材料及器件、器件及电路等,满足集成电路领域微纳加工研发及服务平台需求。
招标内容
.设计部分:包括但不限于完成本项目招标范围内的洁净工程、给排水 、电气、净化暖通、智能化、工艺特殊气体、工艺大宗气体、工艺纯水管路、工艺废水管路、工艺废气、消防等各相关专业的深化设计、施工图设计(含)、施工过程中的方案优化及设计变更施工现场配合服务、后期采购咨询技术服务、配合审核竣工图及质量缺陷处理等后续服务等。具体以设计任务书及经发包人确认的设计文件为准。具体详见合同条款。 .施工部分:完成本工程项目设计范围内包含但不限于本项目范围内的洁净工程、给排水 、电气、净化暖通、智能化、工艺特殊气体、工艺大宗气体、工艺纯水管路、工艺废水管路、工艺废气、消防等各相关专业的施工及施工图预算编制,负责项目实施阶段全过....
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