上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于--在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
、招标条件
项目概况:杭州积海半导体有限公司计划为英寸集成电路制造项目购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
、招标内容
招标项目编号:-/
招标项目名称:激光尖峰退火机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号
产品名称
数量
简要技术规格
备注
激光尖峰退火机
套
本设备主要用于激光尖峰退火
原子力显微镜
套
用于特征形貌、深槽和深孔的深度及特征关键尺寸量测,并符合杭州积海半导体(以下简称)制程工艺的量测需求
晶圆激光打标机
台
产品制程需求须将晶圆编码刻号以利识别, 其方式为利用激光刻码,以客户指定的位置和内容对硅片做统一标识,便于对硅片能进行有效的追踪
高压扩散炉
套
本设备主要用于高压退火氧化炉管
傅立叶变换红外光谱仪
台
用于测量薄膜厚度及其特定元素之含量,并针对符合杭州积海半导体(以下简称)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测
光学关键尺寸量测仪及建模拟真系统
套
用于周期性的二维、三维特征尺寸和形貌的细微结构测量,并针对符合杭州积海半导体(以下简称)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测
射线光电子能谱仪含建模拟真系統
套
用于一般超薄膜的种类、厚度与成份在线量测,并针对符合杭州积海半导体(以下简称)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测
射线荧光光谱仪
台
用于测量金属薄膜厚度及其特定元素含量,并针对符合杭州积海半导体(以下....
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