为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔〕号）等有关规定，现将山东大学年（第二批）月政府采购意向公开政府采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注 激光直写光刻系统 电子工业专用生产设备,其他电工电子专用生产设备 本次采购激光直写光刻系统设备台，产品需要达到曝光最小线宽 、套刻精度： 、曝光速率 /等技术指标，满足高曝光精度、高光刻速率要求。 年月 半导体器件热阻测试仪 其他不另分类的物品 本次采购半导体器件热阻测试仪器设备台，产品需要达到测试延迟时间为μ；实时采样最短间隔μ。结温分辨率.℃，测试精度±.℃等技术指标，用于测量半导体器件的结温、热阻等热学特性研究。 年月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 山东大学招标采购管理中心 年月日