项目概况 清华大学"接触式光刻机采购项目 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：://....获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：清设招第号 项目名称：清华大学"接触式光刻机采购项目 预算金额：. 万元（人民币） 采购需求： 包号 名称 数量 是否允许进口产品投标 ’’接触式光刻机 套 是 设备用途介绍 ： 接触式对准曝光模块主要通过紫外曝光的方式，实现微纳结构图形的转换。该模块还可扩展支持相应尺寸的晶圆键合对准工艺，完成晶圆键合工艺。该模块广泛应用于半导体光电器件、微电子器件、传感器件的制造加工和纳米技术研究。 键合模块能够实现复杂的芯片堆叠结构，广泛应用于器件、、 、先进封装、材料制备等。 简要技术指标 ： ）接触式对准曝光模块：支持晶圆尺寸：英寸和英寸；对准精度：顶部≤±.μ，底部≤±.μ；最小分辨率：≤.μ@真空接触（英寸晶圆），≤.μ@真空接触（英寸晶圆）。 ）键合模块：支持晶圆尺寸：英寸；腔体结构：采用符合人体工程学要求的腔体上开盖设计，键合腔体可以完整打开或半开，无须使用机械传输工具，预对准后的晶圆组可方便的通过夹持工具直接放入键合腔中进行键合，方便腔体清洁及不同压盘的切换，提高使用效率。 合同履行期限：合同签订后个月内完成设备交货。 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： .满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； .落实政府采购政策需满足的资格要求： 需要落实的政府采购政策：扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。 .本项目的特定资格要求：）在中华人民共和国境内注册；）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；）通过“信用中国”网站（...）和中国政府采购网（......