项目概况 清华大学"深硅刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：://....获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：清设招第号 项目名称：清华大学"深硅刻蚀机采购项目 预算金额：. 万元（人民币） 采购需求： 包号 名称 数量 是否允许进口产品投标 "深硅刻蚀机 套 是 设备用途介绍 ： 主要用于处理英寸及以下、、、石英材料，相同硬件兼容小尺寸深槽或者深孔刻蚀、硅通孔刻蚀工艺。 简要技术指标 ：）本底真空＜.；）静电卡盘 ，包含可更换为配置；下电极控温范围涵盖-～℃；下电极控温精度±℃；）等离子系统：功率不低于；下电极功率不低于；）工艺气体控制：提供、、、等至少路工艺气体，独立和阀门控制。 合同履行期限：合同签订后个月内完成设备交货 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： .满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； .落实政府采购政策需满足的资格要求： 扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。 .本项目的特定资格要求：）在中华人民共和国境内注册；）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；）通过“信用中国”网站（...）和中国政府采购网（...）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包....