项目概况 清华大学硅刻蚀系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在://...获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：清设招第号（） 项目名称：清华大学硅刻蚀系统采购项目 预算金额：. 万元（人民币） 采购需求： （）本次招标共包： 包号 招标内容 数量 简要技术要求 硅刻蚀系统 套 详见采购需求 本次招标、投标、评标均以包为单位，投标人须以包为单位进行投标，如有多包，可投一包或多包，但不得将一包中的内容拆分投标，不完整的投标将被拒绝。具体招标内容和要求，以本招标文件中商务、技术和服务的相应规定为准。 （）本项目不接受进口产品投标。 （）本项目为非专门面向中小企业采购的项目。 （）用途：深硅刻蚀腔体（/寸）搭载高效射频等离子体处理模块，采用包括高密度等离子体源、脉冲气体切换、高速射频匹配、高效率气体泵浦以及快速采样分析系统等特点，可实现对晶圆材料诸多微结构加工工艺，特别是传感器的深硅刻蚀工艺的高效率处理。介质刻蚀腔体（寸）搭载高效射频等离子体处理模块，采用包括双频等离子体源、高速射频匹配以及快速采样分析系统等特点，可实现对晶圆材料诸多微结构加工工艺，特别是传感器的介质刻蚀工艺的高效率处理。 合同履行期限：合同签订后个月内完成设备交货、安装及调试工作 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： .满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； .落实政府采购政策需满足的资格要求： 通过“信用中国”网站（...）和中国政府采购网（...）查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。 .本项目的特定资格要求：（）本次投标不接受联合体投标；（）按照招标公告要求获取招....