金属膜层倾角刻蚀系统-招标公告
(招标编号:--)
招标项目所在地区:北京市
一、招标条件
本金属膜层倾角刻蚀系统(招标项目编号:--),已由项目审批/核准/备案机关批准,项目资金来源为详见招标公告七、其他公告内容,招标人为北京遥测技术研究所。本项目已具备招标条件,现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模:详见招标公告七、其他公告内容 。
招标内容与范围:本招标项目划分为标段 个标段,本次招标为其中的:
金属膜层倾角刻蚀系统
三、投标人资格要求
金属膜层倾角刻蚀系统 :
详见招标公告七、其他公告内容
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间:年月日时分秒---年月日时分秒
获取方法:详见招标公告七、其他公告内容
五、投标文件的递交
递交截止时间:年月日时分秒
递交方法:详见招标公告七、其他公告内容
六、开标时间及地点
开标时间:年月日时分秒
开标地点及方式:详见招标公告七、其他公告内容
七、其他公告内容
金属膜层倾角刻蚀系统 已具备招标条件。资金来源国拨。中船国际建设工程管理咨询(北京)有限公司(招标代理机构)受北京遥测技术研究所(招标人)的委托,对该项目进行国际公开招标采购。
. 招标范围
. 货物名称:金属膜层倾角刻蚀系统
. 招标编号: --
.设备用途:金属膜层倾角刻蚀系统通过真空反应腔室系统、射频离子源系统及样品承载系统,光学刻蚀终点检测系统及控制系统联合控制膜层刻蚀过程,来对传感器非平面金属膜层进行精密刻蚀。
金属膜层倾角刻蚀系统必须具备同行业近年内的先进水平,人机界面友好,主要零部件应采用高性能高可靠的产品;设备应具备性能....
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