为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔〕号）等有关规定，现将山东大学年（第九十九批）月政府采购意向公开政府采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注 干法刻蚀设备 电子工业专用生产设备 采购干法刻蚀设备套，能完成英寸碳化硅晶圆刻蚀工艺，设备采用独立刻蚀腔室，单片式运行及搬运功能，全自动机台，双射频匹配调控，配备路气体，最小刻蚀线宽为.μ。 年月 物理气相沉积设备 电子工业专用生产设备 采购物理气相沉积设备台，应用于、、、四种金属的沉积，需各个金属配备独立腔室以及单独的预处理腔室，四种金属薄膜在英寸晶圆上的片内均一性能够达到%，满足碳化硅功率器件制备的金属镀膜需求。 年月 等离子体增强化学气相沉积系统 电子工业专用生产设备 采购等离子体增强化学气相沉积系统台，应用于沉积和薄膜，适用于英寸晶圆，片内均一性和片间均一性&;%,工艺温度到摄氏度。 年月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 山东大学招标采购管理中心 年月日