一、项目名称：蜂巢传动科技河北有限公司模组封装项目一期扫描电子显微镜&;射线能谱仪 二、项目概况与招标范围 本次招标采购主要内容为扫描电子显微镜&;射线能谱仪共一套，满足模组检验需求。 三、技术要求 扫描电子显微镜 套： .主机； .电子枪类型：热场发射电子枪； .探测器： 镜筒内二次电子探测器、样品室二次电子探测器、背散射电子探测器、红外/导航； .分辨率: 对应分辨率达到或优于 .;或者 对应分辨达到或优于.;分辨率： 对应分辨率优于. ； .电压：达到或优于.-； .束流：达到或优于； .物镜光阑：孔径数量不少于孔； .载物台：样品台驱动：轴马达驱动、轴: 大于或等于、轴: 大于或等于、轴：大于或等于 ； 旋转角度：可连续调度 倾斜角度：大于或等于~度 承重： 样品仓承装样品尺寸：直径大于等于 高度大于等于 ； .低真空模式：能优于； .磁性要求： 不漏磁，可测磁性材料； .其他参数要求：软件满足测量的基本几何元素包含：线、角；文件类型：、 或 ； 操作主机：操作系统、键盘、光学鼠标， 位图形用户界面英寸 显示屏、多功能控制板、单帧图像最大存储分辨率: 优于*。 射线能谱仪 套： .进口品牌能谱仪； 、探测器：分析型硅漂移电制冷探测器 元素分析范围：大于或等于~ 晶体有效面积： 能量分辨率：、 保证优于(@计数率,);能量分辨率符合 :标准 支持线扫描、点扫描以及面扫描； 电源：可支持供电小时。 否决项 .品牌：....