一、项目信息 采购人：山东大学 项目名称：山东大学高温高能离子注入机采购 拟采购的货物或服务的说明：离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，可改变半导体的载流子浓度和导电类型，且在注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制。该离子注入设备可实现、、、等元素掺杂，注入剂量范围～ /，注入不均匀性片内≤±.%/片间≤±.%，单电荷最高加速电压为 ，束流发散角度≤.°（@英寸）。 拟采购的货物或服务的预算金额：万元 采用单一来源采购方式的原因及说明：需离子注入设备提供单价离子加速电压- ，二价离子可达 三价离子可达. 。最大束流：≥ μ@ ，束流平行度≤±.°（@ ″），注入剂量～ /；测试精度：≦±.%；注入不均匀性：片内≤±.%，片间≤±.%。具备成熟的反转静电吸附设计，同一设备可兼具对应高温℃以上注入工艺和常温注入工艺，工艺切换时间不得大于分钟；提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制，可得到约°的大的扫描角的离子注入装置。其他品牌产品不能同时满足单价离子加速电压最高、高低温工艺切换时间不得大于分钟、°扫描角的使用技术要求，因此只能采购进口产品。 二、拟定供应商信息 名称：苏州科锐芯机电科技有限公司 地址：苏州吴中经济开发区城南街道东吴南路号幢室 三、公示期限 年月日至年月日（公示期限不得少于个工作日） 四、其他补充事宜：无 五、联系方式 .采购人：山东大学 联 系 人：田主任 联系地址：山东大学中心校区明德楼 联系电话：- .采购代理机构：山东省鲁成招标有限公司 联 系 人：　王青东　 联系地址：济南市经十东路号成城大厦座 联系电话：-