膜厚仪(重新招标)招标公告招标编号:-. 招标条件本招标项目膜厚仪(重新招标)招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所,招标项目资金来自自筹资金,出资比例为%。该项目已具备招标条件,现对膜厚仪(重新招标)进行公开招标。. 项目概况与招标范围. 项目名称:膜厚仪(重新招标) . 设备数量:台.用途说明:本次购买的膜厚仪主要应用于集成电路制造生产线上的非金属薄膜厚度测量的全自动化设备,支持手动上下货,支持所有薄膜量测标准。该测量系统可用于无损自动测量逻辑和模拟等各种硅片上薄膜层(多晶,氧化层,,,,光刻胶等)的膜层厚度、折射率、消光系数。系统平台为整个设备提供一个对外(工厂自动化)及对内(测量系统)的公共平台接口,其中包含设备前端模块()、硅片定位系统、图像识别系统、内部环境控制系统、工控机及供电管理等。本项目购置的膜厚仪为英寸全新、配置 、具备通讯功能。. 技术要求:具体详见招标文件第五章供货要求。.交货地点:重庆市沙坪坝区西永大道号。.交货期:合同生效后个月。. 投标人资格要求本次招标实行资格后审,投标人应满足下列资格条件:.投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织,具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。.业绩要求:投标人提供本次投标同型设备从年至今的任意一年内用于半导体产线的销售业绩,且一年中累计销售台及以上;须提供设备采购合同(合同供货方可以是投标人也可以是投标设备制造商)复印件,其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物及其型号、以及用于半导体产线的证明材料。. 其它要求:本次招标接受代理商投标,代理商投标的需要提供有效的制造商授权。.本次招标不接受联合体投标。.投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。注:投标人的资格要求具体详见招标文件第二章“投标人须知前附表”第..项。. 招标文件的获取.获取时间:年月日至年月日,每天:至:,:至:(北京时间,法定节假日除外)。.获取采购文件的方式:()凡有意参与本项目....
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