项目概况 原子层刻蚀系统 招标项目的潜在投标人应在华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路号国投财富广场号楼室）获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：--
项目名称：原子层刻蚀系统
预算金额：. 万元（人民币）
采购需求：
碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，针对碳纳米管衬底的半导体器件，由于碳纳米管直径在几个纳米的范围，在等离子的轰击下很容易被破坏，感应耦合原子层刻蚀系统凭借低离子损伤，高精度的刻蚀速率控制，最大程度上减小栅介质刻蚀过程对碳纳米管的损伤。利用原子层沉积的模式精确地控制对介质的刻蚀速率，对氧化铪、氧化铝和氧化钇介质薄膜的刻蚀速率达到小于/,实现对高栅介质的高精度刻蚀,推动碳基集成电路的发展。具体详见招标文件第四章采购需求。
合同履行期限：合同签订后天交货并安装完毕
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
.本项目的特定资格要求：()投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（...）、中国政府采购网（...）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；()不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；()投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；()本项目不接受联合体投标；()本项目接受进口产品；()本项目非专门面向中小企业。
三、获取招标文件
时间：年月日 至年月日，每天上午:至:，下午:至:。（北京时间，法定节假日除外）
地点：华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路号国投财富广场号楼室）
方式：现场获取，携带现金，招标文件售后不退
售价：￥. 元，本公告包含的招标文件....
发布媒体:
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