中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购涉海装备部件表面防护等离子体沉积系统项目(重招) - 国际招标公告 公告次数: 发布日期:-- 宁波中基国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于年月日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。 . 招标条件 项目概况:中国科学院宁波材料技术与工程研究所因发展需要,需采购涉海装备部件表面防护等离子体沉积系统套。 资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。 项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。 . 招标内容: 招标项目编号:- 招标项目名称:中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购涉海装备部件表面防护等离子体沉积系统项目(重招) 项目实施地点:中国浙江 招标产品列表(主要设备): 序号 货物名称 数量 简要技术规格 备注 涉海装备部件表面防护等离子体沉积系统 套 ()真空室尺寸: &;;Ф×,被镀工件均匀区高度范围大于。有效镀膜区域&;;&;; × ,范围内薄膜的厚度不均匀性小于%,为保证工件镀膜过程及薄膜质量的稳定性(结构与性能偏差不超过%)。 ()溅射靶位及电源:配备个孪生矩形非平衡磁控溅射靶,采用封闭场设计,工件离子流密度不低于/ ,配备套双输出脉冲直流电源(*)和套双输出直流电源(*),可单独控制每个磁控溅射阴极,电流控制精度为.;配备脉冲偏压电源一台。电压控制精度为,实现-可调;所用电源均应选用相当于公司原厂产品,配备两台射频溅射阴极电源及匹配器,功率可用于陶瓷类等镀层研究。 / . 投标....
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