为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔〕号）等有关规定，现将山东大学年（第六十四批）月至月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
序号
采购项目名称
意向编号
采购品目
采购需求概况
预算金额(万元)
预计采购日期
备注
反应离子刻蚀设备
真空应用设备
本次采购反应离子刻蚀设备设备台，可以刻蚀有机物、、、、金属等材料，应用于集成电路领域的材料和器件加工工艺。
年月
英寸高温化学气相沉积单晶生长炉
通用工业窑炉
本次采购英寸高温化学气相沉积单晶生长炉设备台，产品需要达到高温区最高温度需要超过℃，腔室直径大于。
年月
高精度电感耦合等离子体质谱仪
质谱仪
本次采购的高精度电感耦合等离子质谱仪台，产品需要达到荷质比的定性分析，满足半导体材料研发需求。
年月
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
山东大学招标采购管理中心
年月日
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