项目概况 东南大学微纳平台-集成刻蚀系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在交易平台网址为：://..获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：
项目名称：东南大学微纳平台-集成刻蚀系统采购项目
预算金额：. 万元（人民币）
最高限价（如有）：. 万元（人民币）
采购需求：
项目地点：东南大学无锡校区
项目概况：微纳平台采购-集成刻蚀系统套，主要技术要求如下：
（一）工艺腔室配置
. 反应腔室独立模块化设计，方便维护与保养
. 作业温度范围可覆盖-~ ℃，温度控制±. ℃，可实现深硅刻蚀工艺，可实现、等多种半导体材料可控原子层刻蚀工艺
. 传送模块配备高精度晶圆位置传感器，可兼容/寸晶圆
（二）供气与真空系统
. 配备高速响应，响应速度&; ，实现精准控制短脉冲式刻蚀工艺中的工艺气体通入流量与时长
. 机械泵抽速不小于 /，配备分子泵，腔室极限压力小于×-，真空漏率小于 /
. 配备高精度压力传感器，可实时检测腔室压力，检测范围覆盖~
（三）射频等离子体系统
配置高功率脉冲射频电源，频率可调；最大功率不低于，最小功率不高于 ，调节分辨率优于. ；配备偏压射频源，最大功率不小于，最小功率不高于 ，调节分辨率优于. 。
不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。
行业划分：工业
本项目(非专门)面向中小企业采购。
本项目(非专门)面向监狱企业来购。
本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。
合同履行期限：合同签订后天内设备安装调试合格。
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
.落实政府采购政策需满足的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
（）具有独立承担民事责任的能力....
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