项目概况 太原理工大学集成电路学院半导体微纳加工平台设备项目的潜在投标人应在山西政府采购平台（://.../-/#/）上获取招标文件，并于年月日时分（北京时间）前在“山西政府采购平台”投标人端提交投标文件。 一、项目基本情况.项目编号：（--）.项目名称：太原理工大学集成电路学院半导体微纳加工平台设备.采购计划文号：----.采购方式：公开招标.预算金额：.元.最高限价：.元.采购需求：本次招标共包，参与投标的投标人应按照招标文件要求按包编制投标文件，提交的投标文件应实质性上响应本招标文件的要求。序号标的名称数量单位简要技术需求备注*反应离子刻蚀机台反应离子刻蚀机常用于刻蚀电介质等化学键能较大的材料，是一种广泛用于芯片制造刻蚀的工艺，能够以极高的精度和对材料的最小损伤来刻蚀晶圆材料。主要用途：主要应用再微电机系统（）光电子器件纳米材料研究等领域，用来进行介质，有机物材料的刻蚀。主要技术指标：刻蚀速率：≥/； 刻蚀角度：°±°；选择比：&;:() ；刻蚀均一性：%。台式高质量金属\有机物热蒸发镀膜平台套应用范围非常广泛，几乎涵盖了现代工业和日常生活的各个方面。台式高质量金属\有机物热蒸发镀膜平台在集成电路制造中，真空镀膜设备用于制造薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。我课题组在开展高性能薄膜制备，该设备用于制备：、、 等低熔点金属或有机物。广泛应用于物理、生物、化学、材料、电子等领域，可沉积单层膜/多层膜。热蒸镀技术是工业镀膜的主要技术之一，易于科研成果转化，是新技术向工业领域推广的最经济有效的方法之一。是否允许代理商参加是是否接受联合体参加否是否允许合同分包否合同履约期限自合同签订之日起个工作日内完成所供货物的运输、安装、调试，达到技术验收标准；对所供货物的免费配套服务期限按合同条款执行。履约地点山西省晋中市....
发布媒体:
快捷阅读
