项目概况 华东理工大学涂胶和真空镀膜系统 招标项目的潜在投标人应在上海市长寿路号恒达大厦楼室获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：-
项目名称：华东理工大学涂胶和真空镀膜系统
预算金额：. 万元（人民币）
最高限价（如有）：. 万元（人民币）
采购需求：
本次采购内容：
序号
名称
数量
简要要求
涂胶机
套
包括低转速涂胶机、高转速涂胶机和烤胶机，满足光刻胶涂覆工艺
电子束热蒸发镀膜机
套
.满足金属和氧化物等材料的电子束蒸发和热蒸发功能。泵组功能稳定低噪音，干燥洁净环境下分钟达到*-，本底真空优于*- .膜厚不均匀性小于±%
磁控溅射镀膜机
套
满足功能材料的磁控溅射镀膜，带等离子体清洗功能。 .极限真空优于.×-；漏率：≤×- */（国家标准）；关机小时后，真空度≤(手套箱干燥氮气环境) .膜厚不均匀性小于±%； .配个英寸磁控溅射靶枪；
耗材和配套设施
提供靶材一套，超纯水和气体管路套
交付地点：华东理工大学指定地点。
合同履行期限：交货期：合同签订后个工作日内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本次招标执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、促进中小企业发展、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区等相关政策。
.本项目的特....
发布媒体:
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