项目概况 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目 招标项目的潜在投标人应在..；北京市海淀区丹棱街号互联网金融中心层获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：-
项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目
预算金额：. 万元（人民币）
最高限价（如有）：. 万元（人民币）
采购需求：
包号
货物名称
数量 （套）
简要要求
是否允许采购进口产品
最高限价
投影式光刻机
该机用于集成电路生产中的微光刻工艺。是用来将掩膜版上形成的集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复投影成像在晶圆表面上。该机具备（联机）自动涂胶显影单元功能和配置。 该机含有涂胶显影单元、晶圆自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩膜版光栏、自动调焦调平、晶圆自动对准、掩膜版自动对准、镜头倍率控制、自动光量控制、图形自动优化设计计算、故障显示报警等先进功能。 将曝光掩膜版和晶圆分别装入掩膜版库和晶圆传输单元后，扫描式光刻机将按照操作软件设定的数据格式、工作时序自动完成包括掩膜版、晶圆的交换、自动对准、自动调焦、自动分步曝光在内的工作过程。
是
万元
合同履行期限：合同签订后个月内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目
.本项目的特定资格要求：） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；（具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；....
发布媒体:
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