苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于--在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
、招标条件
项目概况:设备名称:多晶硅、硅刻蚀机
数量:台
设备原理及用途:
基本原理:在射频电压的作用下,溴化氢和氯气产生的等离子体和多晶硅反应生成四氯化硅和溴化硅,溴化氢同时有侧壁淀积作用,防止侧腐,生成物被抽出腔体,最终达到刻蚀的目的。
用途:本设备为全新设备,主要用于英寸器件各种产品生产中多晶硅导线、硅晶圆标记和硅浅槽的刻蚀工艺。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
、招标内容
招标项目编号:-/
招标项目名称:英寸晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号
产品名称
数量
简要技术规格
备注
多晶硅、硅刻蚀机
该设备主要由主控制系统,全自动传输系统,个刻蚀工艺腔,尾气处理系统以及相应的射频系统,气路系统,制冷系统、真空系统等模块组成。设备按照满配来配置相关气管、、电磁阀、μ 和 等,便于未来增加工艺腔体(设备主体需要至少保留增加个工艺腔的、、/、等)。其他参数详见第八章
无
、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:--
招标文件领购结束时间:--
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦....
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