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报名联系人：申彤
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项目所在地：保定、徐水、泰州、荆门、重庆、天津
品类：镀膜机
项目概况与招标范围：.本项目为曼德光电溅射机采购项目，合同周期为一年，涉及保定、徐水、荆门、泰州、重庆、天津等工厂。
.设备工程范围包含成套设备的交钥匙工程，包含溅射机台，合同期内如有需求，以订单为准。
投标主体报名要求
一、技术要求：.极限真空：常温下空载测试，连续排气，真空度小于等于.-；
.漏率：①极限真空后追踪（不开冷阱阀），漏率≤.*/；
②极限真空后追踪（开冷阱阀），漏率≤.*/；
.抽速：漏率测试后，开门，关门抽气，真空度≤.-；
.数据存储：工艺记录与曲线显示与工艺同步，可查询历史数据，每秒记录一次；
.数据显示：真空度显示位小数，溅射电压显示整数，溅射电流显示位小数，轰击电压显示整数，轰击电流显示位小数，其他显示位小数；
.数据导出：工艺过程数据可导出格式，方便追溯；
.趋势曲线：查询历史曲线，显示鼠标所在位置数值（真空度、气体流量、硅油流量、电压、电流、功率、炉温）；
.周期统计：自动统计左右门生产周期，可导出文件，表头包括工艺名称，起始时间、结束时间，每炉用时；
.远程控制：可远程控制，查看设备运行情况或程序升级；
.互锁功能：粗抽阀与前置阀互锁、维持泵阀与前置阀互锁；
充气阀与粗抽阀、冷阱阀、高阀、罗茨泵等互锁，上述阀门关闭后、罗茨泵降频才能充气；
粗抽阀、高阀、冷阱阀等与真空计实现程序保护功能，真空度不到，阀门不动作。
否决项：
.供应商需要对所有技术条款提供有针对性的实现方案，并确认响应或偏离，如不提供，我方有权否决；
.主材清单需要明确具体品牌、型号和数量，否则我方有权否决；
.供应商提供的技术方案和参数不满足本项目要求，我方有权否决；
主要参数：）极限真空：常温下空载测试，连续排气，真空度小于等于.-；....
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