大面积表面高能涂层及扫描系统
项目所在采购意向：
上海交通大学年月政府采购意向
采购单位：
上海交通大学
采购项目名称：
大面积表面高能涂层及扫描系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
金属表面处理设备
采购需求概况 ：
大面积表面高能涂层及扫描系统 主要技术指标： . 均匀有效涂层空间：直径，高度； . 配置口径磁悬浮涡轮分子泵套，抽速不小于/; . 配置弯管磁过滤阴极电弧套，靶材直径； . 配置射频英寸圆形磁控溅射靶套，功率， .； . 配置高功率脉冲英寸圆形磁控溅射靶套，功率，峰值电流； . 配置直流英寸磁控溅射靶套，功率； . 配置阳极层离子源套，功率； . 加热温度最高可达℃；
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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