垂直流热型原子层沉积系统
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
垂直流热型原子层沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
温度范围：~℃，控温精确度±℃ 内腔材质：合金 金属沾污：&;/； 本底真空：≤ 腔室真空漏率：≤-./ 机械（膜内）颗粒：.&; 个 满足以下至* 小片加工 膜厚片内片间均匀性:(&;%) 热源≧个，液源≧个，工艺气路≧路 臭氧发生器： ≧% 干泵抽速 ≧ / （配分子泵） 阀门响应时间： ≤ 阀门最高温度： ≤ ℃
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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