先进光刻版制版
项目所在采购意向:
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位:
中国科学院微电子研究所
采购项目名称:
先进光刻版制版
预算金额:
.万元(人民币)
采购品目:
-其他专业技术服务
采购需求概况 :
主要针对光刻的测试版图制版,验证模型精度。需要次制版,掩模版等级为最高等级。
预计采购时间:
-
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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