计算光刻仿真平台
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
计算光刻仿真平台
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-支撑软件
采购需求概况 ：
支持深紫外仿真，支持多波长优化；支持传统光刻光源优化，支持掩模优化和全版图图形优化质量检验
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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