掩模图形缺陷修复设备
项目所在采购意向：
中国科学院光电技术研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院光电技术研究所
采购项目名称：
掩模图形缺陷修复设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
工艺试验机
采购需求概况 ：
该设备主要用于掩模图形缺陷的修复，通过聚焦离子束的物理刻蚀或辅助沉积，实现掩模图形缺陷的定点减材或增材修复。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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