原子层刻蚀系统
项目所在采购意向：
北京大学年月政府采购意向
采购单位：
北京大学
采购项目名称：
原子层刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，针对碳纳米管衬底的半导体器件，由于碳纳米管直径在几个纳米的范围，在等离子的轰击下很容易被破坏，感应耦合原子层刻蚀系统凭借低离子损伤，高精度的刻蚀速率控制，最大程度上减小栅介质刻蚀过程对碳纳米管的损伤。利用原子层沉积的模式精确地控制对介质的刻蚀速率，对氧化铪、氧化铝和氧化钇介质薄膜的刻蚀速率达到小于/,实现对高栅介质的高精度刻蚀,推动碳基集成电路的发展。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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