无掩模激光直写系统
项目所在采购意向：
南京大学年至月政府采购意向
采购单位：
南京大学
采购项目名称：
无掩模激光直写系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他试验仪器及装置
采购需求概况 ：
南京大学拟采购无掩模激光直写系统一套，要求能够利用特定波长的激光光源直接对涂有光刻胶的衬底材料进行特定能量的扫描式曝光，再配合后段的显影工艺，让图形直接呈现于基板上，需包括光刻胶直写功能、套刻功能和灰度加工功能。主要技术参数要求如下：光刻精度：最小分辨：；最小周期：；支持基板尺寸： *~*。质保期：自设备验收之日起至少年。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
