真空一体化解理镀膜装置
项目所在采购意向：
中国科学院半导体研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院半导体研究所
采购项目名称：
真空一体化解理镀膜装置
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
设备不仅可以实现真空下的激光芯片的解理，也可以进行金属膜和介质膜的一体化镀膜工艺，实现中长红外波段的高反膜制备。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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