原子层沉积设备
项目所在采购意向：
中国科学院上海技术物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称：
原子层沉积设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他仪器仪表
采购需求概况 ：
衬底尺寸和类型:英寸/单片, 复杂表面衬底；工艺温度:-℃可调；预真空室预留设备前端模块()接口,样品在生长室、预真空室和设备前端模块之间自动传输；.前驱体:配置路源，其中路可加热 。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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