设备转接系统
项目所在采购意向：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称：
设备转接系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空应用设备
采购需求概况 ：
设备转接系统是实现工艺设备对接到超高真空管道上的过渡设备，具有真空环境过渡和样品传输等功能，要实现的功能和技术指标如下： 、极限真空：≤×- ，真空检漏漏率：≤×- ./。 、实现原设备与超高真空管道真空环境过渡，若设备对接腔体极限真空度≥.×- ，转接系统必须配置极限真空度≤.×- 的过渡腔体，并用插板阀隔断超高真空腔体，并保证设备与转接系统交换完样品后，分钟内过渡室腔体真空度恢复到≤×- ； 、 实现设备与管道之间样品交换，交接位处样品交接准确、阀门开启灵活； 、传输样品尺寸：英寸晶圆或者带有小样品的英寸圆形过渡托； 、实现英寸晶圆样品翻面功能（晶圆样品厚度为.~），并能实现样品取下和安放到自带圆环样品托上。 、实现管道与转接系统之间自动化样品交接， 控制系统与管道的控制系统兼容，以及在总控系统、支线控制系统和单元控制系统上，实现三级人机交互界面上显示和操控； 、配置必要的观察窗、照明和烘烤带； 、各个标准法兰与现有的真空管道法兰外观一致。
预计采购时间：
-
备注：
以实际公告为准
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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