--离子束辅助沉积
项目所在采购意向：
中国科学院电工研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院电工研究所
采购项目名称：
--离子束辅助沉积
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
--离子束辅助沉积设备通过离子碰撞让晶体择优取向来获得双轴织构氧化物薄膜，形成最初的取向。在长带研究中用于在多晶金属基带上生长双轴织构的层，为后续超导层提供双轴织构模板。设备主要包括：卷绕系统、大尺寸靶材系统(×)、溅射离子源和辅助离子源系统、靶材冷却系统、真空系统、控制系统等。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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