深硅刻蚀机() 项目所在采购意向: 重庆大学年月政府采购意向 采购单位: 重庆大学 采购项目名称: 深硅刻蚀机() 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况 : 未来芯片研究与试验测试平台采购深硅刻蚀机套。该设备主要采用工艺进行深硅刻蚀,在硅晶圆片上实现高深宽比、高刻蚀速率、高选择比的干法刻蚀。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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