为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将本单位年月至年月采购意向公开如下：
序号
采购项目名称
采购需求概况
落实政府采购政策情况
预算金额(元)
预计采购时间
备注
华南师范大学原子层沉积系统采购项目
标的名称：原子层沉积系统
标的数量：
主要功能或目标：该设备应同时具有-和功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工寸及寸以下硅片样品，寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。
需满足的要求：通过热原子层沉积（-）和等离子体增强原子层沉积（）制备致密的、纳米尺度的氧化物薄膜, 例如、、等薄膜。等离子体源须采用真远程等离子体方式，以减少对样品的表面损伤，且制备温度可低于℃。兼容英寸及以下的晶圆和不规则碎片。配备预真空室，可自动进行样品传送。载物台最高加热温度≥℃；配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥ /等。
按规定落实
,,.
年月
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华南师范大学
年月日
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