刻蚀机
项目所在采购意向：
复旦大学年至月政府采购意向
采购单位：
复旦大学
采购项目名称：
刻蚀机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
反应离子蚀刻 ()是一种制造微观和纳米结构的等离子体蚀刻技术。 在蚀刻过程中，样品表面与低压等离子体产生的高能离子/自由基相互作用形成挥发性化合物。 挥发性化合物从样品表面被去除，并实现了各向同性或各异性轮廓。通过优化干式蚀刻配方（腔体压力、射频功率、气体流量比），可以使用蚀刻技术蚀刻各种类型的材料。本项目根据科研需求计划采购一台刻蚀机。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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