离子束刻蚀系统
项目所在采购意向：
华南理工大学年月政府采购意向
采购单位：
华南理工大学
采购项目名称：
离子束刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他电工、电子生产设备
采购需求概况 ：
离子束刻蚀系统主要用于芯片制造过程中的各种材料，特别是金属材料等的刻蚀。需要满足寸及以下晶圆和小片刻蚀；配备采用 离子源，刻蚀均匀性优于 %；载片台具备背 气体冷却装置，自转转速可调；包含进样室；具备终点检测功能。设备稳定性和可重复性好，刻蚀速率可精确调控。设备维护简单，保修期不低于年。
预计采购时间：
-
备注：
欢迎供应商提供相关产品或服务信息，产品资料可发送至采购人邮箱：@..，邮件标题：“*****采购意向推荐产品”,联系电话：-。
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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