深圳大学-等离子刻蚀机意向公开
采购单位:
深圳大学
项目名称:
-等离子刻蚀机
预算金额（元）:
,,.
采购品目:
压片加工设备
采购需求概况:
-等离子刻蚀设备利用感应耦合产生高密度等离子体，实现硅、介质、石英等材料的干法刻蚀，并能在常温下完成工艺，实现深硅刻蚀，具备激光终点监测功能。高耦合效率和低离子能量，减少材料损伤，结合动态温度与气体流量控制，实现高精度刻蚀。工艺用于精细刻蚀三维结构，达到高深宽比、高选择性和垂直度。激光终点监测功能确保刻蚀精度，满足多层结构加工中对每层刻蚀深度、形状和位置的精确控制。
联系人:
陈老师
联系电话:
预计采购时间:
-
备注:
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
发布媒体:
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