薄膜粉体磁控溅射设备
项目所在采购意向：
浙江大学年至月政府采购意向
采购单位：
浙江大学
采购项目名称：
薄膜粉体磁控溅射设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电气物理设备
采购需求概况 ：
拟采购一套薄膜粉体磁控溅射设备 )最大适用于寸晶圆且向下兼容小尺寸；)配备预进样室，具备一键送样，可以一次传送片寸晶圆，且兼容高度不低于样品；配独立分子泵，抽速不低于/；)溅射方式采用向下溅射,腔体尺寸不小于”””（）；)低温泵抽速不低于/,干泵抽速不低于/)设备为集装式，带六只脚轮，可固定可移动；)不少于路，配所有所需得真空测量系统；)工件台为直径英寸射频偏压工件台，与靶枪共用一套电源，转速-可调；)工件盘最高加热温度度，非灯丝加热，温度均匀性±%；)样品台和靶枪具体可调，调整范围不小于;)配备个英寸圆形共焦溅射靶枪，靶枪角度-°可调；)配备一套直流电源，功率不低于,可以切换至个靶枪；采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（）不论质保期内外，卖方应当提供*小时电话支持服务；（）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且维修时只收取所需维修部件的市场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具....
发布媒体:
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