等离子体多层薄膜/粉体沉积系统
项目所在采购意向：
浙江大学年至月政府采购意向
采购单位：
浙江大学
采购项目名称：
等离子体多层薄膜/粉体沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-真空应用设备
采购需求概况 ：
等离子体多层薄膜/粉体沉积系统采购 拟采购一台等离子体多层薄膜/粉体沉积系统，技术结合技术，实现精确控制和高质量沉积，可以通过调控沉积参数和层次，能精确定制材料的结构、组成和性能，并制备纳米颗粒和纳米薄膜。数量一台。具体参数要求： .内外双腔结构，内腔可拆卸；.包含 套粉末样品内腔和 套平面内腔；.反应温度最高 ℃；.高性能真空泵系统（机械泵+吸附井）；.沉积自动控制软件系统；.腔室真空漏率＜×- ·/；.平面样品内腔：可放下 片 英寸硅片；.粉末样品仓：具有 个独立的粉体样品仓，可同时沉积 种不同的粉体样品；.每个粉体样品仓可以放置 左右的粉末；.反应温度：最高 ℃（使用低温内腔最高 ℃）。.在 英寸晶圆上沉积 循环氧化铝，以晶圆上至少 个均匀分散点（边缘 毫米除外）进行膜厚测试，膜厚非 均匀性≤±%为合格；. 高性能真空系统，整机极限真空＜× -，真空漏率＜ × - ·/ 包含： . 高性能机械泵，额定抽速＞ ³/； 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标要求。卖家提供质保服务，一年免修，前三年每年一次固定维护。工程师提供上门仪器安装，全套仪器使用教学，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（）不论质保期内外，卖方应当提供*小时电话支持服务；（）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新....
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