离子注入机 项目所在采购意向: 西安交通大学年至月政府采购意向 采购单位: 西安交通大学 采购项目名称: 离子注入机 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 其他分析仪器 采购需求概况 : 对样品表面进行元素掺杂改性。 常用于半导体材料中杂质的控制和改变材料导电性能和电子结构;修复纳米加工过程中因蚀刻过程中产生的损伤或缺陷,提高器件的加工质量和可靠性;改变材料表面的化学成分、结构和性质,从而实现对材料表面硬度、耐腐蚀性、润滑性等方面的改良。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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