高功率非晶态材料沉积系统
项目所在采购意向：
南京理工大学年月政府采购意向
采购单位：
南京理工大学
采购项目名称：
高功率非晶态材料沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空应用设备
采购需求概况 ：
设备主要参数要求：主要技术指标：极限真空度≤- ；分子泵抽气速率≥ /；真空漏率≤- ？/；靶材尺寸和数量：英寸、只；溅射功率：直流电源数量台、功率≥，射频电源数量台、功率≥，要求搭载负偏压；样品台可加热温度：-℃，控温精度≤ 度，可在-转/分连续可调；控制精度：薄膜均匀性优于±%；系统需配有薄膜厚度实时监测仪和三路流量控制计，可通氩、氧、氮三路气体。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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