物理气相沉积系统
项目所在采购意向：
北京大学年月政府采购意向
采购单位：
北京大学
采购项目名称：
物理气相沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
设备主要用于氧化钒和氧化物半导体的磁控溅射镀膜，用于制备非制冷红外传感器、热耦合晶体管、铁电场效应晶体管等半导体器件。需要设备有两个溅射腔体，用于氧化钒镀膜的腔体可进行不小于寸硅片的溅射镀膜，用于氧化物半导体镀膜的腔体可进行不小于寸硅片的溅射镀膜，每个腔体不少于两个靶和两套射频电源，同时配有快速进样腔，设备本底真空不大于-，镀膜均匀性好于%。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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