高真空电子束蒸镀系统 项目所在采购意向: 西安交通大学年月政府采购意向 采购单位: 西安交通大学 采购项目名称: 高真空电子束蒸镀系统 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 其他分析仪器 采购需求概况 : 本项目采购高真空电子束蒸镀系统套,主要用于量子器件领域中薄膜电极、栅极、导电层等关键组件及光学薄膜的高精度制备研究,要求实现稳定可控的薄膜沉积速率和精准膜厚,具备高真空环境下的电子束加热功能,并由膜厚监控仪和控制系统确保沉积过程的精确性和可重复性。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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