高真空电子束蒸镀系统
项目所在采购意向:
西安交通大学年月政府采购意向
采购单位:
西安交通大学
采购项目名称:
高真空电子束蒸镀系统
预算金额:
.万元(人民币)
采购品目:
其他分析仪器
采购需求概况 :
本项目采购高真空电子束蒸镀系统套,主要用于量子器件领域中薄膜电极、栅极、导电层等关键组件及光学薄膜的高精度制备研究,要求实现稳定可控的薄膜沉积速率和精准膜厚,具备高真空环境下的电子束加热功能,并由膜厚监控仪和控制系统确保沉积过程的精确性和可重复性。
预计采购时间:
-
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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