高通量脉冲激光沉积系统
项目所在采购意向：
重庆大学年月政府采购意向
采购单位：
重庆大学
采购项目名称：
高通量脉冲激光沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空应用设备
采购需求概况 ：
拟建设系统是在衬底加热的条件下，实现一定范围氧压氛围内多元复杂氧化物薄膜的生长、原位质量监控与编程可控的薄膜高通量生长。主要涉及的参数包括背底真空、高温下背底真空、氧气氛围下的压强可控范围、基片温度范围、升温速率、反射式电子衍射使用压强范围、靶材数量、靶间距、激光能量密度等。 需要包含如下主系统和配件 沉积腔体程控系统 套 多靶材操作系统 套 衬底加热系统 套 反射式高能电子衍射仪 套 加载互锁传送真空室 套 准分子激光器与配套光路 套 臭氧发生器 套 一维掩膜板装置 套
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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