为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将本单位年月至年月采购意向公开如下：
序号
采购项目名称
采购需求概况
预算金额(万元)
预计采购时间
备注
西安工业大学高精度光学表面改性设备
采购内容:高精度光学表面改性设备；主要功能或目标:、真空反应腔：①真空反应腔配置内衬套、减少反应腔内表面沉积；②内壁加热温度可到℃或以上；③载物台：直径≥，兼容英寸及以下的晶圆片和碎片样片；④加热温度可到℃或以上，配置温度传感器，精度±℃；⑤反应腔的本底真空≤ - ；真空漏率≤ - •/。 、真空系统：①预真空室配置单独的干泵、真空计,预真空室本底真空≤ - ；真空漏率≤ - •/；②真空系统配置工艺用抽速≥ /的防腐蚀设计干泵，配置抽速≥ /的防腐蚀设计涡轮分子泵，本底真空≤ .- ； 、前驱体源系统：①配置至少路独立的液体/固体前体源管路；每路前驱体源管路配置独立的阀门；路前驱体源管路种类至少为：路带管路加热的直抽管路；路带管路加热、前驱体罐加热（最高可到℃或以上）、并带有起泡器的起泡器管路；②可使用的前驱体源种类至少包括：, , ，以及铟源、镓源、锌源、镍源等；③配置至少路惰性气体的载气管路，配置至少路独立的气体源（例如： 、、）管路，每路气体源管路需配有质量流量计（）、颗粒过滤器和气体截止阀；对有毒/腐蚀气体管路（例如）需配有旁路。 、前驱体源系统：①配置真远程等离子体方式或电感耦合等离子源；②等离子体源的射频功率≥ ，频率. ；③配有自动匹配盒，可通过固定匹配模式或自动匹配模式稳定地起辉；④配置计算机控制的等离子体源关闭阀（等离子体快门） 、原位实时监测系统：①采用激光椭偏仪实时监测薄膜生长过程，可进行膜厚的在线测量，还可实时监测到原子层沉积工艺每一个循环的每一个步骤；②该装置软件与沉积系统操作软件相兼容....
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