浙大宁波理工学院 关于大尺寸高真空磁控溅射系统采购预告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将浙大宁波理工学院年月高真空磁控溅射系统采购意向公开如下： 采购单位 浙大宁波理工学院 采购项目名称 大尺寸高真空磁控溅射系统 预算金额（元） . 是否面向中小企业 面向中小企业 落实政府采购政策功能情况 落实政府采购相关政策 预计采购时间 年月 采购需求概况 标的名称：大尺寸高真空磁控溅射系统数量/单位：台预算金额（元）：. 采购目录：电子工业生产设备 需实现的主要功能或者目标：空载腔体极限真空度：≤- ，漏率≤- •/；平面阴极：*，套，分别用于套金属氧化物和一套金属靶材，靶头水冷系统；射频电源 ，套，直流电源 ；膜厚均匀性： 半片内，≤%@，%@；工艺温度：-；靶基距离：-可调;基片架：可放置半片片及其它规格小尺寸片子。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求：（一）保证提供的产品为全新，质量检测合格，质保期年 ；（二）免费提供安装调试、人员培训、软件升级等服务，售后服务响应及时；（三）保证正常使用时的安全；（四）时限要求：供货期个月左右。 ....