双光子灰度光刻系统(-)
项目所在采购意向：
中国科学院高能物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院高能物理研究所
采购项目名称：
双光子灰度光刻系统(-)
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-激光仪器
采购需求概况 ：
拟采购的双光子灰度刻蚀系统，主要用于光源修正入射光束波前误差，实现高相干成像或极限纳米聚焦的功能。其主要指标是可以加工三维立体亚微米器件，加工样品的最大高度不低于，器件可以达到及以下的表面平整度，形状精度优于。配备有光纤对准模组，其对准精度优于() ，共聚焦对准模组，其三维对准精度≤()/≤() 。系统采用浸入式激光光刻技术，包含飞秒光纤激光器，其中心波长 ± ，平均激光功率 ≥ ，包含的振镜扫描系统具备超高精度的振镜扫描系统，单个有效写场最大直径不小于μ，最高扫描速度不低于/，最大行程范围不小于 * *。该能量调制的带宽不低于，调节级数级及以上。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
