为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔〕号)等有关规定,现将上海大学年月政府采购意向如下: 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(元) 预计采购时间(填写到月) 备注 晶圆混合键合设备 可以实现晶圆的键合预对准;顶面对齐精度:≤±.µ;键合对准精度:≤±.µ;支持最大晶圆尺寸,最大压,最高温度℃,包含活化系统和退火系统,其中活化系统路工艺气体。包含等离子活化功能和退火功能。年质保,供货期个月 . - 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 上海大学 /
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