氧化物电介质磁控溅射仪
项目所在采购意向：
华中科技大学年月政府采购意向
采购单位：
华中科技大学
采购项目名称：
氧化物电介质磁控溅射仪
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
工艺试验机
采购需求概况 ：
拟采购氧化物电介质磁控溅射仪台，该设备是镀膜的主要技术之一，通过控制真空室内的气压与溅射功率，就可以获得稳定的沉积速率，通过精确控制镀膜时间，容易获得均匀的高精度的膜厚。主要用于、、等电介质薄膜材料生长。 .基片尺寸： 英寸（兼容小尺寸基片） 、磁控溅射靶：英寸,套； 、配置套直流电源，套射频电源。 服务要求：设备安装调试后，提供不少于个工作日的技术培训服务；所有硬件一年免费保修、电话报修后小时内响应； 提供设备终身维护维修服务。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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