深圳大学电子束曝光机意向公开

深圳大学电子束曝光机意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 电子束曝光机 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 教学仪器 采购需求概况: 电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用，使胶由长（短）链变成断（长）链，实现曝光，相比于光刻机具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。 预计采购时间: - 联系人: 陈老师 联系电话: 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准